이온 필터링 시스템




 

Model : IEF

제품 사양

  크린룸의 순환공기 중 포함된 암모니아(NH3) 등 화학성분을 제거하기위한 필터링 시스템으로 기존 공조기 후단에 연결설치함으로서 크린룸에 유입되는 화학적 불순물을 최종적으로 처리하는 설비입니다.
 이온섬유의 물리화학적 흡착원리를 이용해 산성 또는 알카리성 가스를 선택적으로 처리할 수 있으며, 이온필터를 재생하는 기능이 있어 필터를 반영구적으로 사용할 수 있습니다.
 

기기사양
  - 처리용량  : 500
m3/min 이상 (설계사양)
  
- 압력손실  : 400 mmAq 이내
 

적용장소
 
- 반도체 크린룸
 
- 방사능 원자력 연구실

 Options
   - Auto By-Pass System
   - Central Monitoring System

Utilities
  - Power         : 380VAC, 3PHASE (설계사양)
  - Gas Inlet       : 500mm, 1PORT (설계사양)
  - Gas Outlet     : 500mm, 1PORT (설계사양)